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学术报告:智能消费电子用先进MEMS与传感器产品化技术

报告人:李昕欣,中科院上海微系统与信息技术研究所研究员

传感技术国家重点实验室主任  
时间:4月18曰(周二)下午2:30
地点:博习楼327室
欢迎广大师生参加!
报告摘要:开创一种(111)硅晶圆上的单芯片MEMS“微创手术”可量产先进工艺,可在半导体标准代加工线产业化。依靠该技术创新开发了压力计、高度计、TPMS复合传感器、流量计、红外非接触测温器、麦克风和超声指纹识别芯片集成等,该系列技术专利授权给企业实现工业化应用,已成为我国独立的先进主流技术,帮助企业产品技术实现了国际项级竞争力。
报告人简介: 李昕欣,先后在清华大学和复旦大学获得学士和博士,曾在香港科技大学、新加坡南洋理工大学和日本东北大学任博士后、Research Fellow和讲师(COE fellowship)。入选中科院百人计划于2001年1月到中科院上海微系统所任研究员、博导。现任传感技术国家重点实验室主任。长期研究微纳传感器与微纳机电系统(MEMS/NEMS)技术,研究的MEMS微传感器为国家重要应用解决了核心部件问题。已授权(包括受理)发明专利70余项(包括美国专利两项),研究的微纳传感器如加速度传感器、汽车TPMS传感器、压力传感器、痕量生化气体传感器等多项专利技术已经向多家骨干企业有偿授权转让实现规模产品化。学术成果已在IEEE EDL、APL、Analyst Chemistry、J. Mat. Chem.、Adv. Func. Mat.、Nanotechnology、多种IEEE TRANSACTION和JOURNAL等著名期刊发表。已在学科领域国际主流SCI期刊发表论文130 多篇,获得引用一千多次(单篇最高引用约200次)。在论文录取率很低的电子器件顶级会议IEDM、微机电系统顶级会议IEEE MEMS和传感器顶级会议Transducers上共发表论文60多篇,数量在国内专业同行中遥遥领先。近5年来在Transducers、IEEE RFIC、美国电化学年会等境外召开的国际会议多次作大会报告或邀请报告。应邀为SCI刊物Measurement Science and Technology等撰写综述论文多篇。曾是IEEE MEMS会议第一个来自中国大陆的TPC委员和Transducers会议第一个来自大陆的TPC执行委员会委员。现任Transducers会议国际掌舵委员会委员,是国际SCI刊物J Micromech. Microeng.的编委。曾获国家技术发明二等奖、上海市技术发明一等奖和二等奖等多项奖励,2004年获中科院百人计划终评优秀,作为导师曾培养出全国百篇优秀博士论文,李昕欣2007年获国家杰出青年科学基金支持。
 
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